AIS主動隔振系統的應用場景

active isolation system-ais主動隔振系統
系統概述
主動隔振系統（ais）由控制箱plc, 氣路總成maintenance unit, 數據線can-bus, 控制器16 bit-controllers（spc-lc), 高速電磁閥high speed electro-pneumatic servo valves和空簧biair air springs and/or habtm horizontal air springs所組成。
為了適用于不同的情況（承載、布局要求）,每套主動隔振系統可以選用不同型號的空簧和電磁閥進行組合。每組空簧都通過一個16位控制器（spc-lc)和一個高速電磁閥進行單獨控制。每套主動隔振系統（ais）由較少3組（三自由度）較多6組空簧六自由度）組成。所有控制器（spc-lc)通過線（can-bus）與控制箱（plc）相連。
每個控制器（spc-lc)都直接安裝在空簧上并且直接控制空簧的狀態?？刂破?spc-lc)內含有：一個16位的微處理芯片，一個位移傳感器（分辨率0.2微米），一個加速度傳感器（分辨率8μg），一個氣壓傳感器（分辨率0.2mbar）。上述所有傳感器的信號采樣頻率為4千赫茲。其中16位的微處理芯片可通過內置的特殊算法對高速電磁閥發出相應的控制指令從而調整相連的空簧的工作狀態，使得整個主動隔振系統在不需要前置反饋信號的情況下達到，實時的隔振效果。控制箱（plc)可以通過端口（rs232)或以太網接口和電腦（pc）連接進行控制，調試和故障診斷等工作。
控制箱（plc)可以通過端口（rs232)和電腦（pc）連接進行控制，調試和故障診斷等工作。每個控制器（spc-lc)都直接安裝在空簧上并且直接控制空簧的狀態。
控制器(spc-lc)內含有：一個16位的微處理芯片，一個位移傳感器（分辨率0.2微米），一個加速度傳感器（分辨率8μg），一個氣壓傳感器（分辨率0.2mbar）。
系統特性
1、主動隔振系統（ais）為電氣式主動隔振系統，能隔離較多至6個自由度方向的振動。
2、型主動隔振系統可以較大程度的抑制共振現象。
3、在水平和垂直方向上均具有優異的位移精度控制。
4、即使在所承載設備上出現較大的載荷變化也不會有大幅度的位移變化且能在較短的時間內恢復原有的水平精度。
5、具有強大的實時控制功能。
6、在控制箱（plc)的管理和監控下每個自由度都有一個控制器和高速電磁閥進行直接控制。
7、每個控制器（spc-lc)都內含一個微處理器和三個傳感器（位移傳感器，加速度傳感器，氣壓傳感器）。
8、通過智能軟件winsni或者webvisufor 用戶可以方便快捷的對整個系統進行優化調整和監控診斷。
9、通過數字i/o接口也可實現兩種工作模式的切換：掃描模式（應用在對隔振要求較高的設備或儀器）；承載模式（應用在經常有載荷變化的設備或儀器）。
10、*設備提供前反饋信號。
數據線can - bus,
氣管和電磁閥連接線
plc 19寸控制箱
air box –氣路總成
bzlk -垂直空簧
控制器spc-lc-2
festo mpye電磁閥（費斯托mpye系列電磁閥）
水平空氣軸承（帶水平空簧）
11、無熱輻射，電磁等干擾，與壓電陶瓷或音圈電機等類型的主動系統相比耗電量很小。
應用領域主動隔振系統主要應用在高精度測量檢測設備上或存在高動態力影響下的精密測量測試設備，例如：圖形處理設備，激光設備，高精度電子顯微鏡或具有在線檢測功能的半導體生產設備。當傳統空簧和機械式水平控制閥不能滿足設備的隔振效率或反應時間等較高要求時，主動隔振系統則成為可以選擇的方案。
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