GALIL運(yùn)動(dòng)控制卡應(yīng)用案例----涂膠/點(diǎn)膠機(jī)

galil運(yùn)動(dòng)控制卡應(yīng)用案例----涂膠/點(diǎn)膠機(jī)
半導(dǎo)體的制造包括從硅晶體生長(zhǎng)到最后的封裝一系列復(fù)雜的自動(dòng)化操作。一般各個(gè)部件的封裝 階段指的是圍繞一個(gè)硅摸具的兩個(gè)或更多的材質(zhì)層間的接合與粘貼。我們關(guān)心的是這些層之間的粘 性物質(zhì)的粘貼過(guò)程。
這臺(tái)工業(yè)機(jī)床應(yīng)用在芯片封裝材料的涂抹上(芯片封裝材料 —— chip encapsulation material,cem) 。當(dāng)硅模具粘貼到封裝基座之后， cem 液體涂抹過(guò)程可以在封裝芯片之間制造一個(gè) 粘結(jié)層。液體的種類包括陶瓷粘合劑，導(dǎo)電及非導(dǎo)電環(huán)氧物質(zhì)，熱接觸面材料，以及焊膏。
液體涂抹工藝需要至少兩個(gè)軸在一個(gè)坐標(biāo)系內(nèi)密切配合， *三個(gè)軸用來(lái)控制液體涂抹噴嘴的垂 直位置， *四個(gè)軸帶動(dòng)傳送帶， *五個(gè)軸控制液泵的液體流量 (圖1)。復(fù)雜的基座表面往往需要噴 嘴軸偶合成三維結(jié)構(gòu)。 較其復(fù)雜的表面可能需要多加兩個(gè)軸在另一個(gè)坐標(biāo)系中偶合， 用來(lái)完成涂抹 噴嘴軸的偏航控制。 要達(dá)到精確的液體涂抹通常需要線性插補(bǔ)及電子齒輪運(yùn)動(dòng)模式。 在這個(gè)應(yīng)用實(shí) 例中，我們將涉及到一個(gè)坐標(biāo)系，4個(gè)運(yùn)動(dòng)控制軸外加一個(gè)控制流量的軸。盡管這是一個(gè)特例，但 其中包含的信息亦可用在一般的液體涂抹應(yīng)用中。
下面給出了運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的較基本要求：
⑴. 五個(gè)軸(xyzwe)
⑵. 預(yù)定的 xy 坐標(biāo)路徑
⑶. 標(biāo)粘合劑的量總保持一致(精確流量控制)
⑷. i/o
新載物盤傳感器(數(shù)字輸入)
載物盤到位傳感器(數(shù)字輸入)
載物盤空載傳感器(數(shù)字輸入)
液位監(jiān)測(cè)(模擬輸入)
液位低報(bào)警(模擬輸出)
xyz 軸的正／反向限位(數(shù)字輸入)
w 軸的零點(diǎn)開(kāi)關(guān) (數(shù)字輸入)
(5). 標(biāo)終端用戶界面
操作員輸入基座的深度
開(kāi)始涂抹周期
監(jiān)測(cè)周期中機(jī)床狀態(tài)
控制器： dmc-1850
因?yàn)榇藨?yīng)用中需要終端用戶界面，所以需要一臺(tái)**的 pc 機(jī)，加之需要對(duì) 5 軸控制，這使得 dmc-1850 pci 總線控制器成為了較優(yōu)選擇。此外， dmc-1850 還為傳感器提供了光電隔離輸入，并 為液面監(jiān)測(cè)提供了模擬輸入。
電機(jī)： blm-n23-50-1000
為了達(dá)到免維護(hù)運(yùn)行，我們選擇無(wú)刷電機(jī)。由于晶片定位機(jī)需要不到 0.3nm 的連續(xù)轉(zhuǎn)矩，所 以我們推薦使用 galil 的 nema 23 #blm-n23-50- 1000 無(wú)刷電機(jī)或者其他同等機(jī)。
電機(jī)上裝有一臺(tái)每轉(zhuǎn) 1000 脈沖的增量編碼器， 積分后每轉(zhuǎn)產(chǎn)生 4000 個(gè)脈沖。 由于增量編碼器為輸 入信號(hào)提供了通向放大器的交換通道，電機(jī)上不許要安裝 hall 傳感器。
放大器： amp-19540
為了驅(qū)動(dòng) x，y，z 和 w 軸電機(jī)， 我們選擇了非常緊湊的 amp- 19540 ，它是臺(tái)無(wú)刷四軸放大器(每個(gè)軸的驅(qū)動(dòng)能力為 500w)。*五軸液泵需要有一個(gè)獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)設(shè)備， 因此它通過(guò) icm-2900 和 cb-50- 100 與控制器相連。它們用來(lái)擴(kuò)展 5-8 軸控制器上的* 5 到 8 軸。
上海銳放自控技術(shù)有限公司專注于控制器,磁柵尺,光柵尺等, 歡迎致電 18561737921