半自動晶圓減薄貼膜機(jī)STK-650 衡鵬瑞和

半自動晶圓減薄貼膜機(jī)stk-650 衡鵬瑞和
半自動晶圓減薄貼膜機(jī)是專利設(shè)計(jì)的柔性滾輪貼膜系統(tǒng)/適用于4”- 8”晶圓。
半自動晶圓減薄貼膜機(jī)stk-650特點(diǎn)：
4”- 8”晶圓適用；
專利設(shè)計(jì)的滾輪貼膜；
自動膠膜進(jìn)給及貼膜；
手動晶圓上下料；
自動切割膠膜，省力；
藍(lán)膜、uv 膠膜可選；
plc+觸摸屏；
配置光簾保護(hù)功能，和緊急停機(jī)按鈕；
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控；
半自動晶圓減薄貼膜機(jī)stk-650規(guī)格：
晶圓直徑：4”- 8”晶圓；
晶圓厚度：100~750 微米；
晶圓種類：硅或其它材料；
單平邊,雙平邊,v 型缺口；
膜種類：藍(lán)膜或者 uv 膜；
貼膜方法：滾輪貼膜；
晶圓臺盤：接觸式晶圓臺盤；
晶圓臺盤加熱可達(dá) 120℃ (對應(yīng)接觸式臺盤，可 選)；
晶圓放置精度：x-y: +/- 0.5 毫米； θ : +/- 0.5°；
裝卸方式：手動晶圓放置與取出；晶圓在位置檢測；
防靜電控制：去離子風(fēng)扇；
切割系統(tǒng)：自動刀；
控制單元：基于 plc 控制，10.4”觸摸屏；
電源電壓：單相交流電 220v,10a；
壓縮空氣：60 psi 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5 立方英尺；
燈塔：三色燈塔和蜂鳴器，用于操作狀態(tài)監(jiān)測；
安全：配置安全光簾和緊急停機(jī)開關(guān)；
體積：950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) ；
凈重：300 公斤；
半自動晶圓減薄貼膜機(jī)性能：
晶圓收益：≥99.9%；
貼膜品質(zhì)：沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
cycle time： ≤ 45 秒（不包含上料/下料時間）；
mtbf：>168 小時；
mttr：<1 小時；
停機(jī)時間： <3%；
更換產(chǎn)品時間：≤ 10 分鐘
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