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質(zhì)量流量控制器的常見問題
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實際使用中發(fā)現(xiàn)，氣體質(zhì)量流量控制器，當輸入的氣體不同時控制顯示的數(shù)值與實際不符，其實原因很簡單，因為在mfc行業(yè)中，有一種參數(shù)叫cf，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡稱cf）。而mfc行業(yè)中又把n2（氮氣）定義為標準氣體m。n2的c值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。cf大于1.00的代表氣體是單原子氣體he(氦)、xe(氙)。和n2相近的氣體有02（氧氣）、h2（氫氣）、f2（氟）等。0.5以下的有sf6、wf6、sicl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，氣體質(zhì)量流量控制器多少錢，用各自的cf值計算即可。
假設某臺mfc是用n2標定的，但是實際流過的氣體是he，氣體質(zhì)量流量控制器公司，實際的流量比n2多。各個廠家的he的cf值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是he氣相同示數(shù)時，是n2的1.4倍流量。反過來，如果n2流過he的mfc，實際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。
因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準時，考慮出廠標定cf是否與你的氣源相同。
質(zhì)量流量控制器簡介
質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“mass flow controller”(簡稱mfc)，它通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。
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質(zhì)量流量計的原理
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目前，國內(nèi)使用較為廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量計。
其原理如下：“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來測定流量。”（附：qm=kcpa△t cp定壓比熱容 a測量管繞組（即加熱系統(tǒng)）與周圍環(huán)境熱交換系統(tǒng)之間的熱傳導系數(shù)； k -------儀表常數(shù)）
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