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        1933年德國von engel首1次報道了研究結果 ,利用冷卻的裸電*在大氣壓氫氣和空氣中實現了輝光放電,但它很容易過渡到電弧,并且必須在低氣壓下點燃,即離不開真空系統。1988年,kanazawa等人報道了在大氣壓下使用氦氣獲得了穩定的apgd的研究成果,并通過實驗總結出了產生apgd要滿足的三個條件:(1)激勵源頻率需在1khz以上;(2)需要雙介質dbd;(3)必須使用氦氣氣體。此后,日本的okazaki、法國的massines和美國的roth研究小組分別采用dbd的方法,用不同頻率的電源和介質,在一些氣體和氣體混合物中宣稱實現了大氣壓下“apgd”。
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        射頻磁控濺射氣體放電時,由于射頻靶電源輸出交變高頻正弦電壓波形,致使電子碰撞工作氣體的幾率大為增多,工作氣體離化率高,等離子阻*低,射頻磁控濺射膜層沉積速率為二*射頻濺射的數倍。輝光放電的特征是電流強度較小(約幾毫安),溫度不高,故電管內有特殊的亮區和暗區,豐派滲氮,呈現瑰麗的發光現象。 。
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        roth等人在實驗室的一臺氣體放電等離子體實驗裝置中實現了ar、he和空氣的“apgd”。1993年okazaki小組利用金屬絲網(絲直徑0.035mm,325目)電*為pet膜(介質)、頻率為50hz的電源,在1.5mm的氣體(亞氣、氮氣、空氣)間隙中做了大量的實驗,并宣稱實現了大氣壓輝光放電。
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