東莞愛德華真空泵-愛德華售后-愛德華真空泵維修RV8

化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (cvd) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來(lái)選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長(zhǎng)我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長(zhǎng)您制程的正常運(yùn)行時(shí)間。
干泵選擇
cvd 制程通常需要通過(guò)選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來(lái)克服四個(gè)特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：
粉末
許多制程會(huì)產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設(shè)計(jì)成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實(shí)際上可能 很粘或需要高溫運(yùn)行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。 對(duì)于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機(jī)的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。
冷凝
半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時(shí)，這些氣體會(huì)從氣 相變?yōu)楣滔唷Ｔ诒盟瓦@些副產(chǎn)品時(shí)， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。
腐蝕
有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來(lái) 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會(huì)侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對(duì)泵造成腐蝕的*，您需要確保可以 將泵溫度設(shè)置為一個(gè)較低值以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)。我們的泵設(shè)計(jì) 具有可選的溫度設(shè)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對(duì)于某些 cvd 制程，愛德華真空泵維修r(nóng)v3，需要在溫度設(shè)上 達(dá)到平衡，惠州愛德華真空泵，以確保避免任何冷凝問(wèn)題， 同時(shí)不使腐蝕速度過(guò)高。
適用于研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)我們提供豐富多樣的真空產(chǎn)品， 以應(yīng)對(duì)當(dāng)今研發(fā)實(shí)驗(yàn)室所面臨的種種挑戰(zhàn)。 通過(guò)與各主要科學(xué)儀器制造商、大學(xué)院校和主要研究機(jī)構(gòu)的 通力合作，我們能夠深入了解研究過(guò)程以及真空技術(shù) 所發(fā)揮的作用。我們專注于真空領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)展，并 投資于研發(fā)，因此能夠開發(fā)滿足您的特定應(yīng)用 要求的產(chǎn)品。 單一供應(yīng)商：
廣泛的產(chǎn)品組合齊聚一堂基于技術(shù)的解決方案：
從 uhv（超高真空）到大氣壓安心：
經(jīng)驗(yàn)豐富，可幫助您選擇解決方案
概述
eh 機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。
機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真*裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、co2 激光
功能和優(yōu)勢(shì)
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 torr 的壓力范圍下、需要超過(guò) 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。
它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
eh 泵具有高質(zhì)量的無(wú)油泵送機(jī)械裝置。這可提供：
安靜的無(wú)振動(dòng)運(yùn)行。
牢靠且防腐蝕。
*的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。
經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒(méi)有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，愛德華真空泵維修eh500，因此可將維護(hù)要求降到低。
軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可確保潤(rùn)滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是*技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
訂購(gòu)信息
edwa*真空泵 eh4200 羅茨真空泵 愛德華羅茨泵 機(jī)械增壓泵
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