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        熱壓法:ito靶材的熱壓制作過程是在石墨或氧化鋁制的模具內充填入適當粉末以后,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓,北京金圓柱靶,同時以1000℃~1600℃進行燒結。熱壓工藝制作過程所需的成型壓力較小,金圓柱靶價格,燒結溫度較*結時間較短。但熱壓法生產的ito靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均勻,從而影響了生產ito薄膜的均勻性,且不能生產大尺寸的靶。
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