碳化硅靶材SiC磁控濺射靶材
碳化硅(sic)靶材 磁控濺射靶材 電子束鍍膜蒸發料
參數說明
支持靶材定制,請提供靶材產品的元素、比例(重量比或原子比)、規格,我們會盡快為您報價!!
產品介紹
金剛砂又名碳化硅(sic)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生產綠色碳化硅時需要加食鹽)等原料通過電阻爐高溫冶煉而成。碳化硅在大自然也存在罕見的礦物,莫桑石。 碳化硅又稱碳硅石。在當代c、n、b等非氧化物高技術耐火原料中,碳化硅為應用最廣泛、最經濟的一種,可以稱為金鋼砂或耐火砂。 目前中國工業生產的碳化硅分為黑色碳化硅和綠色碳化硅兩種,均為六方晶體,比重為3.20~3.25,顯微硬度為2840~3320kg/mm2。
關于我們
服務項目:靶材成份比例、規格、純度均可按需定制。科研單位貨到付款,質量保證,無憂!
產品附件:發貨時產品附帶裝箱單/質檢單/產品為真空包裝
適用儀器:多種型號磁控濺射、熱蒸發、電子束蒸發設備
質量控制:嚴格控制生產工藝,采用輝光放電質譜法gdms或icp光譜法等多種檢測手段,分析雜質元素含量保證材料的高純度與細小晶粒度;可提供質檢報告。
加工流程:熔煉→提純→鍛造→機加工→檢測→包裝出庫
陶瓷化合物靶材本身質脆且導熱性差,連續長時間濺射易發生靶裂情況,綁定背靶后,可提高化合物靶材的導熱性能,提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!
我公司采用高純銦作為焊料,銦焊厚度約為0.2mm,高純無氧銅作為背靶。
注 :高純銦的熔點約為156℃,靶材工作溫度超過熔點會導致銦熔化!綁定背靶不影響靶材的正常使用!
建議:陶瓷脆性靶材、燒結靶材,高功率下濺射易碎,建議濺射功率不超過3w/cm2。
我公司主營金屬靶材、陶瓷靶材、合金靶材,歡迎您的垂詢。