100級無塵烤箱CM-100T_晶圓PI膠固化

100級無塵烤箱cm-100t_晶圓pi膠固化
100級無塵烤箱cm-100t概述：
晶圓pi膠固化烤箱cm-100t是參照 federal standard(fs)209e 無塵等級規(guī)格研發(fā)制造，廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示屏、lcd、cmos、ic、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。采用平面水平送風，然后經(jīng)過進口hepa filter裝置 (特殊風道設(shè)計)送風，過濾效率可達99.99%，滿足class 100級無塵規(guī)格，排氣口為3"φ(附自動啟閉風門功能),以達到強烈循環(huán)的效果。
100級無塵烤箱cm-100t箱體結(jié)構(gòu)：
·烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱器及風道系統(tǒng)部分組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外型美觀大方
·全周弧焊，耐高溫硅膠迫緊，sus304＃不銹鋼電加熱器，防止機臺本身產(chǎn)生微塵
·箱體材料：sus304#不銹鋼板
·內(nèi)膽材料：采用進口sus304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，
·并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污以避免烘烤時產(chǎn)生微塵
·中桶材料：采用進口sus304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，
·并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及弧焊密封加工(防污染)
·保溫材料：采用正廠玻璃纖維公司出品，100k級高密度高保溫板制造
·電熱器：采用進口覆套式電加熱器 (sheathed heater)，為無塵化電熱發(fā)生器
·潔凈度：烤箱內(nèi)部均采用無塵化配件及材料
cm-100t（100級無塵烤箱）規(guī)格：
無塵等級 class 100
溫度范圍 室溫～+250℃
升溫速度 常溫～+200℃, 升溫斜率程序可控
溫度均勻度 &plu*n;1%；（空載）
溫度度 &plu*n;1℃；（空載）
工作室尺寸 w600×h550×d500 mm
外形尺寸 w1100×h1700×d1220 mm
加熱功率 14kw
層板 共2片
環(huán)境條件 溫度 5～40℃；濕度 ≤85%r.h
電源 ac380v , 三相，50hz
氣壓 86～106kpa
使用條件 無強烈振動，無強磁場影響，無腐蝕性氣體
箱體周圍應(yīng)留有500mm的空間供設(shè)備安裝、維修使用
了解更多：http://www.hapoinoven/cm-100t.htm
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