CTS氣密_CTS儀器校正率_CTS儀器怎校準？

cts儀器校正率的作用？
性能因素：是用來表述儀器區分合格件和不合格件的能力的一個量化參數。
類似ai學習的過程，儀器通過學習，確定“合格”“不合格”產品的數值。
例如： 標準件（不漏件）的壓降＝10mbar ， 標準件+漏孔（模擬泄漏件）的壓降 ＝100mbar ，那么合格件和不合格件的區分度就是 90mbar 了， 性能因素 ＝ (100-10)/100 ＝ 90％ ＝90pf . 數值越大說明區分得越明顯。
較關鍵的一個區分能力是這樣算的： （ 標準件+漏孔的壓降 － 標準件的壓降 ）> 0.3mbar ，那么這個測試是非常可靠的了。 用戶只要看 <校準：plr> 菜單下的數據自己知道區分能力即可放心使用。 如果區分能力達不到0.3mbar 則要調整測試節拍即可達到較優的區分能力。
儀器中的pf只是一個給用戶做參考的值，根本不影響儀器的測試能力的。 這個pf的計算方法也不止上面描述的一種。可以擴展到兩到三種。 cts的算法是和用戶的判斷標準關聯的，判斷標準調得越低pf算出來就越低。它僅是一個死板的參考值，不影響任何東西。
1. 較小pf 這個參數設立的目的是怕客戶在校準時出錯，比如漏孔沒有打開。系統不穩定等，儀器就能識別出來，避免校準出差錯。
2. 現在部分客戶對校準的了解，不需局限于pf具體是多少，只要根據 漏和不漏的壓降差大于 0.1 ~ 0.3mbar 這個原則就可以快速判斷儀器工作得可不可靠。
3. 這個也是cts直壓比差壓好的一個地方，cts的傳感器可以精確地測試壓降并且能測出非常大的壓降，這是差壓機器所不具備的重要特性。
cts的算法是和用戶的判斷標準關聯的，判斷標準調得越低pf算出來就越低。 然后把儀器的判斷標準設為4sccm再校準一次，這時pf應該會高一倍。
1. 冷機**次測試壓降會偏大.
2. 冷機校準算出來的pf會低。
3. 所以還是建議校準的時候先正常地按工作的狀態先測試兩三次然后再校準。
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