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四、對準(alignment)
光刻對準技術是*前的一個重要步驟作為光刻的三大核心技術之一,一般要求對準精度為細線寬尺寸的 1/7---1/10。隨著光刻分辨力的提高 ,對準精度要求也越來越高 ,例如針對 45am線寬尺寸 ,對準精度要求在5am 左右。
受光刻分辨力提高的推動 ,對準技術也經歷 迅速而多樣的發展 。從對準原理上及標記結 構分類 ,對準技術從早期的投影光刻中的幾何成像對準方式 ,包括視頻圖像對準、雙目顯微鏡對準等,一直到后來的波帶片對準方式 、干涉強度對準 、激光外差干涉以及莫爾條紋對準方式 。從對準信號上分 ,主要包括標記的顯微圖像對準 、基于光強信息的對準和基于相位信息對準。
光刻膠介紹
光刻膠介紹
光刻膠(又稱光致*蝕劑),是指通過紫外光、準分子激光、電子束、離子束、x射線等光源的照射或輻射,nr26 25000p光刻膠,其溶解度發生變化的耐蝕刻材料。光刻膠具有光化學敏*,nr26 25000p光刻膠哪家好,其經過*、顯影、刻蝕等工藝,可以將設計好的微細圖形從掩膜版轉移到待加工基片。因此光刻膠微細加工技術中的關鍵性化工材料,被廣泛應用于光電信息產業的微細圖形線路的加工制作。生產光刻膠的原料包括光引發劑(包括光增感劑、光致產酸劑)、光刻膠樹脂、單體和其他助劑等。
pcb
光刻膠
主要分為干膜光刻膠、濕膜光刻膠(又稱為*蝕刻/線路油墨)、光成像阻焊油墨等。pcb 光刻膠技術壁壘相對較低,主要是中低端產品。
lcd
光刻膠
包含彩色濾光片用彩色光刻膠及黑色光刻膠、lcd 觸摸屏用光刻膠、tft-lcd 正性光刻膠等產品。
彩色濾光片是lcd
實現彩色顯示的關鍵器件,nr26 25000p光刻膠哪里有,占面板成本的14%~16%;在彩色濾光片中,nr26 25000p光刻膠廠家,彩色光刻膠和黑色光刻膠是核心材料,占其成本的27%左右,其中黑色光刻膠占彩色濾光片材料成本的6%~8%。
半導體光刻膠
包括g 線光刻膠、i 線光刻膠、krf 光刻膠、arf 光刻膠、聚酰ya光刻膠、掩膜板光刻膠等。
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