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        大朗高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體;可用作系統清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體;在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬可用作色譜載氣,也可用作大規模集成電路中混合氣體的稀釋氣。氬被廣泛用于充填弧光燈、熒光燈和電子管;焊接保護氣;在鈦、鈷及其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣;在黑色冶金中,氬氣用于吹煉特種鋼,以提高鋼的質量,特別是不銹鋼制造中消耗大量氬氣。
        在原子量較大、電子數較多的惰性氣體原子中,較外層的電子離原子核較遠,所受的束縛相對較弱。如果遇到吸引電子強的其他原子,這些較外層電子就會失去,從而發生化學反應。1962年,加拿大化學家**合成了氙和氟的化合物。此后,氡和氪各自的化合物也出現了。
        原子越小,電子所受約束越強,元素的惰性也越強,因此合成氦、氖和氬的化合物較加困難。赫爾辛基大學的科學家使用一種新技術,使氬與氟化氫在特定條件下發生反應,形成了氟氬化氫。它在低溫下是一種固態穩定物質,遇熱又會分解成氬和氟化氫。科學家認為,使用這種新技術,也可望分別制取出氦和氖的穩定化合物。
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