高純氮氣在電子行業中的應用
高純氮氣在電子行業中的應用
冶金淬火工藝
高純氮氣為主要保護氣體在冶金工業中運用范圍較廣,所有的熱處理工藝,包括淬火、退火、滲碳、碳氮共滲、軟氮化及復碳等工藝,都能夠使用高純氮氣完成所處理的金屬零件在質量上可與傳統的吸熱式氣氛處理相媲美。高純氮氣是一種中性氣體,在非活化狀態下,高純氮氣可用于保護加熱,防止鋼、鐵、銅、鋁制品氧化、脫碳,因而廣泛用于光亮淬火、光亮退火、光亮回火等金屬熱處理工藝中。在真空熱處理時,高純氮氣常作為冷卻介質,用于金屬部件的低溫裝配;充氮加壓油淬時,高純氮氣既可保護真空爐的電熱元件又可通過調節氮氣壓力,提高金屬部件的淬硬性。在這些行業中需要提供高品質氮氣,有的需要純度大于99.5%,有的則需要純度大于99.9995%。
集成電路
在電子行業中,高純度氮氣運用十分廣泛。在半導體與集成電路制造與生產過程中,需要高純氮氣對其進行氣氛保護與清洗,保證半導體與集成電路的質量;在半導體電池和電子合金材料等行業中,高純氮氣被用于電子產品的封裝、燒結、退火、還原、儲存等環節;在大規模集成電路、彩電顯像管液晶以及半導體原件的處理中,高純氮氣被用于十分重要的氮氣源;在單晶硅、多晶硅與一些外延產業中運用高純氮氣,不僅能夠提高生產效率,還有效提升了產品質量;在電子行業中的磁材行業塑造中,需要通過噴砂、除水等環節的處理之后,再將其放置在充滿高純氮氣的氮氣室中,經過規定時間的加熱處理之后,再重復上述工序,再將其放置在冷卻通道保護氮氣室,溫度冷卻到中溫之后,將其放置在中溫冷卻室中,直到完全冷卻,就可以進行工作輸出。采取這種方式,將高純氮氣運用到電子生產中,不僅能夠避免高溫下造成的材料浪費,又能夠提高生產效率,保證零件精確度,延長零件使用壽命。電子行業中氮氣純度必須保持在99.999%之上,才符合電子行業的生產標準。
化纖干燥
一些化工生產企業要對化學品進行干燥,也會采用氮氣作為干燥氣源。隨著對產品品質的要求越來越高,對用氣量的需求也越來越大,對純度的要求也越來越高。目前國內的氣體用戶大部分采用的是一次用氣流程,即將使用后的氣體直接放空,為了節約成本,會將氮氣進行循環,但需要將循環高純氮氣進行脫氧,從而有效避免在干燥的過程中原料氧化變質的現象。
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