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在儲存技術方面，高密度、大容量硬盤的發展，需要大量的巨磁阻薄膜材料，cof~cu多層復合膜是如今應用廣泛的巨磁阻薄膜結構。磁光盤需要的tbfeco合金靶材還在進一步發展，香檳金靶材價格，用它制造的磁光盤具有存儲容量大，壽命長，可反復無接觸擦寫的特點。如今開發出來的磁光盤，具有tbfeco/ta和tbfeco/al的層復合膜結構，tbfeco/ai結構的kerr旋轉角達到58，而tbfecoffa則可以接近0.8。經過研究發現，低磁導率的靶材高交流局部放電電壓l*電強度。
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濺射靶材的要求較傳統材料行業高，一般要求如，尺寸、平整度、純度、各項雜質含量、密度、n/o/c/s、晶粒尺寸與缺陷控制；較高要求或特殊要求包含：表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、*（氧化物）含量與尺寸、導磁率、超高密度與超細晶粒等等。磁控濺射鍍膜是一種新型的物相鍍膜方式，就是用電子系統把電子發射并聚焦在被鍍的材料上，使其被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材。 濺射靶材有金屬，合金，陶瓷化合物等。
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