數字源表用于高校物理實驗
本科生集成電路實驗目的
通過實驗動手操作,加深對半導體物理理論知識的理解,掌握半導體材料和不同器件性能的表征方法及基本實驗技能,培養分析問題和解決問題的能力。
本科生集成電路實驗目錄
實驗一:金屬-氧化物-半導體場效應晶體管特性iv特性測試實驗
實驗二:四探針法測量半導體電阻率測試實驗
實驗三: mos電容的cv特性測試實驗
實驗四:半導體霍爾效應測試實驗實驗
實驗五:激光二極管ld的liv特性測試實驗
實驗六:太陽能電池的特性表征實驗
本科生集成電路實驗平臺優勢
滿足本科生基礎教學實驗中微電子器件和材料測試需求
測試設備簡單易用,專業權威,方便學生動手操作
核心設備測試精度高,滿足新材料和新器件的指標要求
測試軟件功能齊全,平臺化設計,有專人維護支持,與專業測試軟件使用相同架構
以基礎平臺為起點,可逐步升級,滿足日益增加的實驗室測試需求
本科生集成電路實驗基本功能
實驗名稱
測試參數
金屬-氧化物-半導體場效應晶體管特性的iv特性測試實驗
l輸出特性曲線
l轉移特性曲線
l跨導gm
l擊穿電壓bvds
l
四探針法測量半導體電阻率測試實驗
l四探針法電阻率ρ
l材料阻值r
mos電容的cv特性測試實驗(低頻 + 高頻)
lcv特性曲線
半導體霍爾效應測試實驗
l霍爾電壓vh
l霍爾電阻率ρ
l霍爾系數rh
l載流子濃度n
l霍爾遷移率u
激光二極管ld的liv特性測試
lliv特性曲線
l閾值電流ith
l閾值電流對應電壓值vth
l拐點kink
l線性電阻rs
太陽能電池的特性表征
l開路電壓voc
l短路電流isc
l功率z大值pmax
l填充因子ff
l轉換效率η
l串聯電阻rs
l旁路電阻rsh
本科生集成電路實驗平臺核心
測試平臺的核心– 源測量單元(源表, smu)
普賽斯國產源表四表合一四象限模式
四線/開爾文測試功能
小信號測試
滿足先進器件和材料測試需求
交流測試使用lcr表
探針臺:4寸或6寸手動探針臺
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